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    科研成果

    一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备

    专利名称: 一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备
    英文名称: 一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备
    专利类别: 发明
    申请号: 200910080128.2
    申请日期: 2009-03-09
    授权日期: 2011-12-21
    专利号: ZL200910080128.2
    第一发明人: 江潮
    其它发明人: 王秋来; 刘双
    国外申请日期:
    国外申请方式:
    专利授权日期: 2011-12-21
    缴费情况:
    实施情况:
    专利证书号:
    专利摘要:
    其它备注:
       

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