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科研成果

低品质因子微悬臂探针、其制备方法及显微镜

专利名称: 低品质因子微悬臂探针、其制备方法及显微镜
英文名称:
专利类别: 发明
申请号: CN202110901520.X
申请日期: 2021-08-06 00:00:00
授权日期: 2023-06-23 00:00:00
专利号: ZL202110901520.X
第一发明人: 戴庆
其它发明人: 胡德波; 赵九州; 罗成; 吴晨晨
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 2023-06-23 00:00:00
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
   

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