型　  号：Dektak XT

  功　  能：

• 旋涂光刻胶及各种薄膜的表面粗糙度
  Surface roughness of photoresists, and various films
• 沟槽特征结构的轮廓、台阶高度及宽度
  Step height and width, and profile of trench structures

  主要指标：

• 探针尖半径(Stylus)：2.0 µm, 0.7 µm
• 厚度测量范围(Vertical scan range)： up to 1 mm
• 探针作用力(Force)：1 ~ 15 mg
• 扫描长度(Scan length)：50 µm ~ 55 mm
• 视场范围(Field of view)：1 ~ 4 mm
• 台阶高度重复性(Step height repeatability)：< 5 Å
• 垂直方向分辨率(Vertical resolution)：1 Å (for 6.55 mm measurement range)
• 测量样品最大尺寸(Sample compatible)：150 mm

  技术特点：

• 精度高
  High precision
• 针尖可满足不同测量条件
  Different styluses for different measurements